IMEC boekt vorderingen bij enkele euv-belichting voor 5nm-node

Onderzoeksinstituut IMEC toont de resultaten van de inzet van single patterning euv-belichting om patronen voor de 5nm-node op wafers aan te brengen. Bij zowel logic als dram zijn de resultaten volgens IMEC veelbelovend.

Interessante Artikels